Bei der LIBS wird mittels eines kurz gepulsten Lasers an der Probe ein Plasma erzeugt. Das beim Zerfall dieses Plasmas (breakdown) emittierte Licht wird mit einem Spektrometer aufgenommen, womit elementspezifische Analysen der zu untersuchenden Messgüter sicher gelingen. Dabei können Nachweisgrenzen von bis zu 10 ppm erreicht werden.

Im Gegensatz zu anderen Verfahren der Atomemissionsspektroskopie bietet die LIBS bei gleicher analytischer Genauigkeit den Vorteil der Echtzeitmessung.